Podemos considerar como precedente claro de las Inspecciones de Archivos los Viajes Literarios del siglo XVIII que tenían como fin el conocimiento y puesta en valor del patrimonio histórico, monumental y documental de España. Pero sin duda, la función se va clarificando durante el siglo XIX y, muy especialmente, durante el reinado de Isabel II. En 1844 se crearon las Comisiones Provinciales de Monumentos Históricos y Artísticos que tenían entre sus funciones la salvaguarda del patrimonio documental de las instituciones religiosas desamortizadas. A nivel ministerial la función inspectora correspondió al Negociado de Archivo de la Secretaría de Estado y del Despacho de Estado y, más adelante a la Junta Facultativa. Aunque en un principio la función inspectora no la realizaban archiveros, si no que podía ser encomendada a personas de reconocido prestigio y conocimiento, poco a poco fue asumida por miembros del Cuerpo Facultativo de Archiveros, Bibliotecarios y Arqueólogos. Así, en las distintas reformas legislativas que afectaron al Cuerpo no faltaron artículos que específicamente aludían a dicha función y fueron definiendo las características de los puestos técnicos de inspectores. Por ejemplo en el Real Decreto de reorganización del Cuerpo Facultativo de 1930 se señalaba como la inspección de carácter técnico, científico o artístico estaba encomendada a los directores de la Biblioteca Nacional, el Museo Arqueólogico Nacional y el Archivo Histórico Nacional, así como a los inspectores técnicos que se especializarían en diversas materias como la catalogación de incunables, epigrafía latina o arábiga, diplomas de la Alta Edad Media, numismática, etc. Tras la Guerra Civil se creó el Consejo de Inspectores que, entre otras cosas, estableció las Inspecciones de Zona. En 1973 se creó la Inspección General de Archivos y la figura del inspector central que ejercieron Antonio Matilla Tascón y Vicenta Cortés Alonso. A partir de 1979 la función inspectora quedó encomendada a las Inspecciones Generales de Servicios; la documentación generada por la antigua Inspección General de Archivos quedó encomendada a la Subdirección General de Archivos.